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圖爾克傳感器由沉積在介質(zhì)基板(基板)基板上的薄膜和相應(yīng)的敏感數(shù)據(jù)組成。使用混合工藝時,可以在此基板上制造相同的電路部分。
厚膜傳感器是在陶瓷基片上涂覆而成,通常由Al2O3制成,然后進(jìn)行熱處理,形成厚膜。
陶瓷傳感器由標(biāo)準(zhǔn)陶瓷工藝或各種工藝(溶膠、凝膠等)制成。
在適當(dāng)?shù)臏?zhǔn)備操作完成后,所形成的組件在高溫下燒結(jié)。厚膜和陶瓷傳感器的兩個過程之間有許多共同的特征。在某些方面,厚膜工藝可以被認(rèn)為是陶瓷工藝的變體。
每種技術(shù)都有其各自的優(yōu)缺點。由于研究、開發(fā)和生產(chǎn)的資金投入低,傳感器參數(shù)穩(wěn)定性高,因此選擇陶瓷和厚膜傳感器是合理的。
按丈量目分類
物理傳感器使用的特性大大改變了測量材料的物理特性。
化學(xué)傳感器是由敏感元件構(gòu)成的,可以將化學(xué)成分、濃度和其他化學(xué)物質(zhì)轉(zhuǎn)化為電能。
生物傳感器是使用多種生物或生物材料來檢測和識別生物體中的化學(xué)組分的傳感器。
TURCKBI15-EG08-AP6X-V1131
TURCKBI10-EM30-AP6/S907
TURCKBI10-M30-AP6X/S120
TURCKBI10NF-EM30HE-AP6X2-H1141
TURCKBI10NF-EM30HE-RP6X2-H1143
TURCKBI10U-EM30-AP6X/3GD
TURCKBI10U-M30-ADZ30X2
TURCKBI10U-M30-AN6X
TURCKBI15-CP40-AP6X2
TURCKBI15-CP40-1X
TURCKBI1-EG05-AN6X
TURCKBI1-EG05-AP6X-V1331
TURCKBi1-EG05-AP6X-V1331
TURCKBI1-EH04-AP6X-V1331
TURCKBI20-CP40-VP4X2
TURCKBI20R-W30-DAP6X-H1141
TURCKBI25-G47SR-FZ3X2
TURCKBi2-EG08-AP6X-H1341
TURCKBI2-EG08K-AP6X
TURCKBI2-M12-Y1X-H1141